[发明专利]适用于多晶硅厚膜的石英舟

摘要

本发明涉及一种适用于多晶硅厚膜的石英舟，该石英舟在现有石英舟的基础上，保持石英上棒上的上舟槽的槽型为Y型不变，槽宽为0.9mm不变，槽深为2.0mm不变，调整石英下棒上的下舟槽的槽型为上宽下窄的正梯形结构，槽宽为1.1mm，槽深为2.0mm，经该槽型及尺寸调整后的石英下棒与尺寸未发生变化的石英上棒构成的石英舟降低了与晶片之间的接触面积，粘舟情况和晶片情况良好，破片率低，操作简便且能够长期使用。

主权项

一种适用于多晶硅厚膜的石英舟，用于承载多晶硅厚膜片，其包括相互平行设置石英上棒(1)和石英下棒(2)，石英上棒上设置有若干个彼此平行且等距的上舟槽(3)，石英下棒上设置有若干个与彼此平行且等距的下舟槽(4)，上、下舟槽的位置对应，其特征在于：所述上舟槽的槽型为Y型结构，上舟槽的槽宽(W1)为0.9mm，上舟槽的槽深(H1)为2.0mm；所述下舟槽的槽型为上宽下窄的正梯形结构，下舟槽槽底的槽宽(W2)为1.1mm，下舟槽的槽深(H2)为2.0mm；所述上舟槽的开口角度(α1)为60°，所述下舟槽的开口角度(α2)为60°；所述石英上棒(1)上设置有50个上舟槽，所述石英下棒(2)上设置有50个下舟槽，且相邻两个上舟槽或相邻两个下舟槽的间距(D1)为2.35～2.40mm。