[发明专利]硅中介层有效
申请号: | 201510413740.2 | 申请日: | 2015-07-15 |
公开(公告)号: | CN106206557B | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 管式凡;施能泰 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065;H01L23/488;H01L23/498;H01L23/29;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56;H01L21/78 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 王允方 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种硅中介层,包含一硅基板,具有一正面及相对于正面的一背面;一第一集成电路芯片,设置在硅基板的正面;一第二集成电路芯片,设置在硅基板的正面且靠近第一集成电路芯片;一虚设切割道区域,设置在第一集成电路芯片与第二集成电路芯片之间;以及至少一电路器件,设置在硅基板正面的虚设切割道区域中。 | ||
搜索关键词: | 中介 | ||
【主权项】:
1.一种硅中介层,其特征在于,包含有:一硅基板,具有一正面及与所述正面相对的一背面;一第一集成电路芯片,位于所述硅基板的所述正面,其中所述第一集成电路芯片包含第一存储器阵列;一第二集成电路芯片,位于所述硅基板的所述正面且靠近所述第一集成电路芯片,其中所述第二集成电路芯片包含第二存储器阵列;一虚设切割道区域,位于所述第一集成电路芯片与所述第二集成电路芯片之间;以及至少一电路器件,位于所述硅基板的所述正面上且位于所述虚设切割道区域中。
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