[发明专利]具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法

摘要

具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法，涉及极紫外光源收集镜领域，解决了现有方法存在的成本高，同时还会引入不必要的图案误差的问题。该方法包括基底清洗、涂胶、曝光、烤版、显影、刻蚀、去胶、镀膜；曝光时，沿光轴依次设置曝光光源、扩束器、光源收集镜、曲面半反半透镜和曲面反射镜，曲面半反半透镜和曲面反射镜的焦点分别与光源收集镜的椭球面所在椭球的两个焦点重合，光源收集镜的椭球面所在椭球的焦距等于曝光光源输出的激光波长四分之一的奇数倍；通过两相干点光源干涉在光源收集镜的椭球面上形成干涉条纹，使涂层感光来完成曝光。本发明工艺简单，成本低，没有掩模板制作引入的误差，提高了半波带结构的光谱纯化效率。

主权项

具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、基底清洗利用超声波清洗机对光源收集镜(1)进行超声波清洗、酒精烘干，去除表面污染物；步骤二、涂胶在光源收集镜(1)的椭球面(2)上旋涂在曝光光源(6)辐照下能够产生具有抗蚀功能的材料，形成涂层；步骤三、曝光搭建曝光光路：沿光轴依次设置曝光光源(6)、扩束器(7)、光源收集镜(1)、曲面半反半透镜(4)和曲面反射镜(5)，所述曲面半反半透镜(4)的焦点和曲面反射镜(5)的焦点分别与光源收集镜(1)的椭球面(2)所在椭球的第一焦点F1和第二焦点F2重合，所述曲面半反半透镜(4)与曲面反射镜(5)均能对平行光进行反射形成球面波，所述光源收集镜(1)的椭球面(2)所在椭球的焦距等于曝光光源(6)输出的激光波长四分之一的奇数倍；通过两相干点光源干涉在光源收集镜(1)的椭球面(2)上形成干涉条纹，使椭球面(2)上的涂层感光来完成曝光：所述曝光光源(6)输出的激光经扩束器(7)扩束后形成平行的入射光(11)，入射光(11)经光源收集镜(1)中间的通孔(8)照射在曲面半反半透镜(4)表面，所述曲面半反半透镜(4)对一部分入射光(11)反射形成第一反射光(13)即第一球面波，对另一部分入射光(11)透射形成透射光(11’)照射在曲面反射镜(5)表面，所述曲面反射镜(5)对透射光(11’)反射形成第二反射光(13’)即第二球面波，所述第一反射光(13)和第二反射光(13’)均照射在光源收集镜(1)的椭球面(2)上；所述第一球面波的球心与曲面半反半透镜(4)的焦点、光源收集镜(1)的第一焦点F1重合，所述第二球面波的球心与曲面反射镜(5)的焦点、光源收集镜(1)的第二焦点F2重合，所述第一球面波和第二球面波在光源收集镜(1)的椭球面(2)上发生干涉形成干涉条纹，同时使椭球面(2)上的涂层感光完成曝光；步骤四、烘烤将曝光后的光源收集镜(1)放置在烘箱中进行烘烤；步骤五、显影采用溶剂清洗光源收集镜(1)，去除光源收集镜(1)的椭球面(2)上未曝光区域的涂层；步骤六、刻蚀采用刻蚀液在具有半波带图案的光源收集镜(1)的椭球面(2)上刻蚀掉部分基底，刻蚀厚度为曝光光源(6)输出的激光波长的四分之一；步骤七、去胶利用等离子体去胶机去除光源收集镜(1)的椭球面(2)上经曝光后的涂层，使半波带结构露出；步骤八、镀膜在具有半波带结构的光源收集镜(1)的椭球面(2)上镀制一层极紫外反射膜，完成具有半波带结构的极紫外光源收集镜的制作。