[发明专利]二维层状硫族化合物的合成方法及工艺设备

摘要

一种二维层状硫族化合物的合成方法及工艺设备。二维层状硫族化合物的合成方法包括加热基材至反应温度；暴露基材于催化气体、前驱物蒸气及硫族前驱物气体中；利用一气体活化单元来离子化催化气体与硫族前驱物气体，藉以产生能量化粒子，其中能量化粒子与前驱物蒸气反应而形成硫族化合物气体；及降低基材的温度，以使硫族化合物气体沉积于基材上而形成二维层状硫族化合物。

主权项

一种二维层状硫族化合物的合成方法，其特征在于，所述二维层状硫族化合物的合成方法包括：加热一基材至一反应温度；暴露所述基材于一硫族前驱物气体、一前驱物蒸气及一催化气体中；利用一气体活化单元来离子化所述催化气体与所述硫族前驱物气体，以产生能量化粒子，其中所述能量化粒子促使所述前驱物蒸气发生一硫族元素取代反应而形成一硫族化合物气体；以及降低所述基材的温度，以使所述硫族化合物气体沉积于所述基材上而形成所述二维层状硫族化合物。