[发明专利]一种用于重掺硼或磷直拉硅单晶掺杂装置和掺杂方法在审
| 申请号： | 201510417488.2 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN104928760A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 莫宇;李春龙;吕菲 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B31/04 | 分类号： | C30B31/04 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于重掺硼或磷直拉硅单晶掺杂装置和掺杂方法，掺杂装置由耐高温石英玻璃制成阶梯型倒置杯状体，从上到下分为固定腔、置放腔、扩散腔三部分，固定腔、置放腔为直径较小的圆筒部分，固定腔顶部四周留有数个小孔用于与直拉硅单晶生长炉内的挂钩连接，置放腔与固定腔之间有一块石英玻璃片相隔绝，扩散腔(3)为直径稍大于固定腔、置放腔直径的开口圆筒，置放腔和扩散腔(3)连接部位有三个L型卡槽，用于固定嵌入的硅片；掺杂时，将掺杂元素置于置放腔内，插入一薄硅片使置放腔和扩散腔隔开，将置放腔和扩散腔都浸入直拉硅单晶炉的熔体中，掺杂元素将在隔绝外界空间的情况下直接在熔体中进行扩散，有益效果是提高了重掺掺杂的准确性和效率，并且该掺杂装置结构简单，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 重掺硼 磷直拉硅单晶 掺杂 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于重掺硼或磷直拉硅单晶掺杂装置，其特征在于：所述的用于重掺硼或磷直拉硅单晶掺杂装置由耐高温石英玻璃制成阶梯型倒置杯状体，从上到下分为固定腔（1）、置放腔（2）、扩散腔（3）三部分，固定腔（1）、置放腔（2）为直径较小的圆筒部分，固定腔（1）顶部四周留有数个小孔（1‑1）用于与直拉硅单晶生长炉内的挂钩连接，置放腔（2）与固定腔（1）之间有一块石英玻璃片（4）相隔绝，扩散腔(3)为直径稍大于固定腔（1）、置放腔（2）直径的开口圆筒，置放腔（2）和扩散腔（3）连接部位有三个L型卡槽（5），用于固定嵌入的硅片（7）。
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