[发明专利]一种大口径抽除氙气低温泵

摘要

本发明公开了一种大口径抽除氙气低温泵。使用本发明能够实现对氙气的大抽速抽除，且耐溅射、无油蒸汽污染。本发明包括低温制冷机、吸附阵、热沉、防辐射屏、泵壳、障板、障板测温元件、吸附阵测温元件和一级冷屏。其中，吸附阵由多个长方形壳体组成，长方形壳体的上下表面开放，长方形壳体的侧面设有翅片；障板固定安装在低温泵口处的热沉上，为板状结构，且障板的垂直方向对吸附阵实现一次光学屏蔽，障板表面喷涂有石墨涂层。本发明能够以普通低温泵1.5倍的抽速抽除氙气，且无污染，耐溅射，适用于高温等离子体的恶劣环境，且可以采用通液氮或者是机械制冷工质进行冷却，降低成本。

主权项

一种大口径抽除氙气低温泵，其特征在于，包括低温制冷机(1)、吸附阵(2)、热沉(3)、防辐射屏(4)、泵壳(5)、障板(6)、障板测温元件(7)、吸附阵测温元件(8)和一级冷屏(9)；其中，低温制冷机(1)为二级低温制冷机，通过法兰安装在泵壳(5)上，并与泵壳(5)之间设有橡胶密封圈；吸附阵(6)安装在低温制冷机(1)的二级冷头上，吸附阵(2)由多个长方形壳体组成，长方形壳体的上下表面开放，长方形壳体的侧面设有翅片；吸附阵(2)上安装有测温元件(8)；一级冷屏(9)固定安装在低温制冷机(1)的一级冷头上，表面发黑处理；热沉(3)安装在低温泵壳体(5)上；障板(6)固定安装在低温泵口处的热沉上，为板状结构，且障板的垂直方向对吸附阵(2)实现一次光学屏蔽，障板(6)表面喷涂有石墨涂层，障板测温元件(7)安装在障板(6)上。