[发明专利]受光元件有效
申请号: | 201510419547.X | 申请日: | 2015-07-16 |
公开(公告)号: | CN105280732B | 公开(公告)日: | 2017-11-21 |
发明(设计)人: | 菊地真人武;中路雅晴;竹村亮太;山路和树 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0352;H01L31/10 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 何立波,张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种受光元件,该受光元件能够加快响应速度,并且能够防止正极电极与负极电极的短路。本发明的受光元件具备第1导电型的衬底;第1导电型的光吸收层,其在该衬底上形成,与该衬底相比带隙较小;第2导电型的扩散层,其在该光吸收层的一部分上形成;第1导电型的窗口层,其在该光吸收层上以包围该扩散层的方式形成,与该光吸收层相比带隙较大;正极电极,其在该扩散层上形成;以及负极电极,其在该衬底上,以不与该窗口层和该光吸收层接触,而与该衬底接触的方式设置,该受光元件形成有槽,该槽在俯视观察时包围该扩散层与该窗口层之间的边界,在剖视观察时贯通该窗口层和该光吸收层。 | ||
搜索关键词: | 元件 | ||
【主权项】:
一种受光元件,其特征在于,具备:第1导电型的衬底;第1导电型的光吸收层,其在所述衬底上形成,与所述衬底相比带隙较小;第2导电型的扩散层,其在所述光吸收层的一部分上形成;第1导电型的窗口层,其在所述光吸收层上以包围所述扩散层的方式形成,与所述光吸收层相比带隙较大;正极电极,其在所述扩散层上形成;以及负极电极,其在所述衬底表面侧,以不与所述窗口层和所述光吸收层接触,而与所述衬底接触的方式设置,所述受光元件形成有槽,该槽在俯视观察时包围所述扩散层与所述窗口层之间的边界,在剖视观察时贯通所述窗口层和所述光吸收层,所述负极电极与所述衬底接触的位置与所述槽相比更远离所述扩散层。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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