[发明专利]光照射装置

摘要

本发明提供一种构造简单并可射出大致均匀的照射强度的线形光的光照射装置。一种在照射面上照射，在第1方向上延伸，并且向与第1方向正交的第2方向具有规定线宽的线形光的光照射装置，其具备：多个光照射单元，其分别具有：基板，在第1方向以及与第2方向正交的第3方向上将光轴的朝向对齐，并在基板的表面沿着第1方向隔着规定间隔排列配置的多个光源以及在内部形成有制冷剂沿着第1方向流动的流路，并以与基板的背面抵接的方式设置的散热器，其中，多个光照射单元由制冷剂在流路内的第1方向上流动的N(N为自然数)个第1光照射单元以及制冷剂在流路内的与第1方向相反的方向上流动的N或者N+1个第2光照射单元构成。

主权项

一种光照射装置，是在照射面上照射，在第1方向上延伸，并且在与所述第1方向正交的第2方向上具有规定线宽的线形光的光照射装置，其特征在于，具有：多个光照射单元，各所述光照射单元分别具备有：基板；多个光源，所述多个光源在所述第1方向及与所述第2方向正交的第3方向上将光轴的朝向对齐，并在所述基板的表面沿着所述第1方向隔着规定间隔并排配置，以及散热器,所述散热器在内部形成有制冷剂沿着所述第1方向流动的流路，并以与所述基板的背面抵接的方式设置；其中，所述多个光照射单元由所述制冷剂在所述流路内的所述第1方向上流动的N个第1光照射单元；以及所述制冷剂在所述流路内的与所述第1方向相反的方向上流动的N或者N+1个第2光照射单元构成；所述N为自然数。