[发明专利]一种蓝宝石单晶炉用变温度气体充气系统及控制方法在审
| 申请号： | 201510419592.5 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105040094A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王东阳;翟剑庞;黄镜蓁 | 申请（专利权）人： | 中山兆龙光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 吴剑锋 |
| 地址： | 528400 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石单晶炉用变温度气体充气系统及控制方法，该系统包括有炉体，在所述炉体设有变温度气体环管，在所述变温度气体环管上设有若干气孔，在所述变温度气体环管上连接有气体输送管，所述气体输送管一端伸出炉体后与气体加热器相连接，在所述气体加热器进气端连接有进气管。本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，使用方便，能有效防止晶体受冷开裂或造成很大应力的蓝宝石单晶炉用变温度气体充气系统。本发明的另一个目的是提供一种采用上述蓝宝石单晶炉用变温度气体充气系统控制蓝宝石单晶炉降温的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 单晶炉用变 温度 气体 充气 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石单晶炉用变温度气体充气系统，包括有炉体（1），在所述炉体（1）设有变温度气体环管（2），在所述变温度气体环管（2）上设有若干气孔（3），在所述变温度气体环管（2）上连接有气体输送管（4），所述气体输送管（4）一端伸出炉体（1）后与气体加热器（5）相连接，在所述气体加热器（5）进气端连接有进气管（6）。
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