[发明专利]一种磨削晶圆表面腐蚀装置

摘要

一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置，属于半导体制造设备技术领域，其结构简单，操作方便。包括支脚、回收槽、吸盘支架、吸盘、液体承载部分。回收槽上设有导轨、真空控制开关、废液排放口；吸盘支架内设抽真空管道；液体承载部分包括滑块、支柱、横梁、导轨梁、移动板、酸液盛放槽、清水盛放槽、排液控制阀门、液体盛放槽固定螺栓。本发明可对磨削晶圆表面任意位置精确定位和进行腐蚀，与人工手动操作相比，较为方便高效，同时避免了人工手工操作受到腐蚀的危险。

主权项

一种磨削晶圆表面腐蚀装置，其特征在于:包括：支脚、回收槽部分、吸盘支架部分、吸盘和液体承载部分；所述支脚(101)由支脚固定螺栓(404)与回收槽(102)连接；所述回收槽部分包括：导轨(103)、卡钉(206)、真空控制开关(401)、废液排放口(201)、废液排放口固定螺栓(402)、管道口(202)、管道口固定螺栓；导轨(103)设在回收槽(102)顶端两侧对称位置；导轨(103)端部设有卡钉(206)限制滑动脚(205)脱离轨道；真空控制开关(401)、废液排放口(201)、管道口(202)位于回收槽(102)底端，真空控制开关(401)控制吸盘(105)抽真空，废液排放口固定螺栓(402)将废液排放口(201)固定于回收槽(102)、管道口固定螺栓(403)固定管道口(202)；所述吸盘支架部分包括：吸盘支架底座(704)、吸盘支架底座螺孔(705)、吸盘支架柱(703)、吸盘支架承台(104)、吸盘支架承台螺孔、吸盘支架柱(703)内部设有中空管道(702)；吸盘支架底座(704)与回收槽(102)底部中心区域连接，吸盘支架底座螺孔(705)与回收槽(102)螺孔对齐，吸盘支架柱(703)连接吸盘支架底座(704)和吸盘支架承台(104)，吸盘支架柱(703)设置管道(702)与吸盘的腔室连通，吸盘(105)与吸盘支架承台(104)通过螺栓固结；液体承载部分包括：支柱(106)、横梁(107)、横梁固定螺栓(108)、导轨梁固定螺栓(109)、导轨梁(110)、酸液盛放槽(111)、酸液盛放槽固定螺栓(903)、清水盛放槽固定螺栓(902)、清水盛放槽(112)、滑动脚(205)、滴嘴(207)、滴嘴固定螺栓(901)、排液控制阀门(301)、滑动梁(302)、清水排出口(1001)、酸液排出口(1002)；滑动脚(205)与支柱(106)固结，支柱(106)与横梁(107)通过横梁固定螺栓(108)连接，横梁(107)与导轨梁(110)由导轨梁固定螺栓(109)连接，酸液盛放槽(111)和清水盛放槽(112)与滑动梁(302)由螺栓固定，排液控制阀门(301)控制酸液和清水排放。