[发明专利]一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置

摘要

一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置涉及半导体制造设备技术领域。其结构简单，操作方便。包括设备支撑底座、吸盘部分、提手部分和电机驱动部分。其特征在于所述支撑底座位于吸盘边缘且可进行旋转；所述吸盘由二个腔室组成，腔室之间通过可旋转轻质阀门隔开，两侧腔室侧壁各设进气阀门，吸盘上吸附结构由吸孔、凹槽和填充物质构成，吸盘底安置真空发生器；所述提手部分由提手臂和把手构成，提手臂与吸盘底部通过禁锢螺钉连接，把手与提手臂焊接连接；所述电机位于把手形成的空腔内部并由支撑臂支撑。可实现对超薄晶圆的拾取与传输，降低晶圆破片率。

主权项

一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置，其特征在于，包括支撑底座(1)、吸盘部分、提手部分和电机驱动部分；其中支撑底座(1)能绕固定于吸盘侧壁上的旋转轴(18)旋转；吸盘部分包括吸盘表面凹槽(2)、填充物(3)、吸孔(4)、第一腔室(7)、轻质阀门(6)、进气阀门(8)、开关(9)、管道(19)和真空发生器(20)；凹槽顶端高于吸盘表面，吸孔(4)位于凹槽中心，吸孔(4)由填充物(3)填充；吸盘设有第一腔室(7)和第二腔室(23)，第一腔室(7)呈圆柱形，第二腔室(23)呈圆环形，两个腔室由轻质阀门(6)隔开；吸盘底端安置真空发生器(20)，真空发生器进气口(15)外接压缩空气，真空发生器排气口(16)连通空气，真空发生器真空口(17)位于第一腔室(7)内；吸盘侧壁设有进气阀门(8)，进气阀门(8)由管道(19)和开关(9)组成；吸盘底端与提手(11)通过螺钉(10)连接，提手(11)与把手侧臂(24)固定连接，把手侧臂(24)与把手(12)固定连接；驱动电机(13)位于把手侧臂形成的空腔内，由电机支撑臂(14)支撑。