[发明专利]制备石英玻璃砣的沉积炉有效
| 申请号： | 201510420100.4 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105036520B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王玉芬;聂兰舰;向在奎;饶传东;王宏杰;刘飞翔 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | C03B5/00 | 分类号： | C03B5/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 | 代理人： | 王伟锋,刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备石英玻璃砣的沉积炉，包括炉体，所述炉体由炉顶、炉壁和炉底组成，所述炉顶、炉壁和炉底围成炉膛；燃烧器，设置于炉顶；基础杆，自所述炉底垂直伸入到所述炉膛内，所述基础杆可相对于炉体在垂直方向上移动，所述基础杆可以其轴线为旋转轴转动；沉积基底，设于基础杆的顶部，与基础杆固定连接，所述沉积基底的直径大于基础杆的直径，所述沉积基底为石英玻璃砣的沉积提供基础；辅助加热装置，在所述炉膛内围绕沉积基底的外围设置，用于提高石英玻璃沉积砣边缘温度。本发明减小了沉积面的温度梯度，提高石英玻璃砣组分分布的一致性，生产出径向与轴向结构均匀的石英玻璃砣。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 石英玻璃 沉积 | ||
【主权项】：
制备石英玻璃砣的沉积炉，其特征在于，包括：炉体，所述炉体由炉顶、炉壁和炉底组成，所述炉顶、炉壁和炉底围成炉膛；燃烧器，设置于炉顶；基础杆，自所述炉底垂直伸入到所述炉膛内，所述基础杆可相对于炉体在垂直方向上移动，所述基础杆可以其轴线为旋转轴转动；沉积基底，设于基础杆的顶部，与基础杆固定连接，所述沉积基底的直径大于基础杆的直径，所述沉积基底为石英玻璃砣的沉积提供基础，所述沉积基底为沉积池，所述沉积池由底面和侧壁围成；辅助加热装置，在所述炉膛内围绕沉积基底的外围设置，用于提高石英玻璃沉积砣边缘温度；所述辅助加热装置为电阻丝加热、高温加热棒或氢氧火焰燃烧器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国建筑材料科学研究总院，未经中国建筑材料科学研究总院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510420100.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
