[发明专利]高均匀合成石英玻璃砣的制备方法有效
| 申请号： | 201510420201.1 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN104926088B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王玉芬;聂兰舰;向在奎;饶传东;王宏杰;刘飞翔 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 | 代理人： | 王伟锋,刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，采用立式沉积炉通过化学气相沉积制备，原料通入燃烧器，在沉积炉内发生化学反应，形成二氧化硅颗粒，其中石英玻璃砣的沉积基底为由底面和侧壁围成的凹形的沉积池，化学气相合成形成的二氧化硅颗粒熔化并在沉积池中自由扩散与沉积，沉积面的温度梯度小于20℃。本发明提高石英玻璃砣组分分布的一致性，生产出径向与轴向结构均匀的石英玻璃砣。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 合成 石英玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
高均匀合成石英玻璃砣的制备方法，采用立式沉积炉通过化学气相沉积制备，原料通入燃烧器，在沉积炉内发生化学反应，形成二氧化硅颗粒，其特征在于，石英玻璃砣的沉积基底为由底面和侧壁围成的凹形的沉积池，化学气相合成形成的二氧化硅颗粒熔化并在沉积池中自由扩散与沉积，沉积面的温度梯度小于20℃，所述的原料为四氯化硅蒸气、氢气和氧气；所述沉积池的侧壁与底面的角度为90°～150°；所述燃烧器与垂直线的夹角为0°～45°，所述沉积池的外围设有用于提高石英玻璃沉积砣边缘温度的辅助加热装置。
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