[发明专利]抛光刀和抛光系统在审
申请号: | 201510424324.2 | 申请日: | 2015-07-17 |
公开(公告)号: | CN106346380A | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;邵科科 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B24D9/00 | 分类号: | B24D9/00;B24B29/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 高静,吴敏 |
地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种抛光刀和抛光系统,包括刀柄,用于实现机床进给,所述刀柄包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的抛光端;位于所述抛光端的抛光装置,用于对所述环件结构进行表面抛光。本发明通过连接装置实现抛光装置与刀柄的连接,通过刀柄实现机床进给。机床通过连接装置对抛光装置施加进给,使抛光装置与环件结构表面产生挤压,实现抛光装置对环件结构表面的抛光处理。通过机床进给抛光刀能够使对环件结构的表面抛光处理标准化,能够提高产品的合格率和稳定性,降低异常率,降低产品制造成本。 | ||
搜索关键词: | 抛光 系统 | ||
【主权项】:
一种抛光刀,用于对溅射工艺中使用的环件结构进行表面抛光处理,所述抛光刀通过机床进给实现抛光处理,其特征在于,包括:刀柄,用于实现机床进给,所述刀柄包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的抛光端;位于所述抛光端的抛光装置,用于对所述环件结构进行表面抛光。
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