[发明专利]阵列基板的制备方法、阵列基板及显示装置

摘要

本发明提供一种阵列基板的制备方法、阵列基板及显示装置，属于显示技术领域，其可解决现有的阵列基板在制备时出现漏极下方出现悬空的问题。本发明的阵列基板的制备方法包括形成像素电极的图形，薄膜晶体管的栅极的图形；形成栅极绝缘层；通过构图工艺形成包括薄膜晶体管有源层，以及形成在有源层上的源极和漏极的图形；形成钝化层，并通过构图工艺形成包括贯穿栅极绝缘层和/或钝化层的主过孔的图形；同时还形成包括位于漏极的部分区域下方的主过孔延伸部的图形；主过孔与主过孔延伸部贯通；去除与过孔延伸部位置对应的漏极金属，形成包括过孔的图形；形成包括连接电极和公共电极的图形；其中，连接电极通过过孔将漏极与像素电极电性连接。

主权项

一种阵列基板的制备方法，其特征在于，包括：在基底上，形成包括像素电极的图形；形成包括薄膜晶体管的栅极的图形；形成栅极绝缘层；通过构图工艺形成包括薄膜晶体管有源层，以及形成在所述有源层上的源极和漏极的图形；形成钝化层，并通过构图工艺形成包括贯穿栅极绝缘层和钝化层的主过孔的图形；同时还形成包括位于所述漏极的部分区域下方的主过孔延伸部的图形；所述主过孔与所述主过孔延伸部贯通；去除与所述主过孔延伸部位置对应的漏极金属，形成包括过孔的图形；形成包括连接电极和公共电极的图形；其中，所述连接电极通过所述过孔将所述漏极与所述像素电极电性连接。