[发明专利]一种密闭式硅芯自动存取装置有效

专利信息
申请号: 201510426897.9 申请日: 2015-07-20
公开(公告)号: CN106185138B 公开(公告)日: 2018-06-01
发明(设计)人: 蔡延国;刘元香;鲍守珍;祝永强;宗冰;王体虎 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B65G1/04
代理公司: 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 代理人: 张晋
地址: 810007 青海*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 发明一种密闭式硅芯自动存取装置,具体为:密闭的存储空间(7),及两侧的输送带II(12)、输送带Ⅰ(1)、存储箱(5)、可使存放硅芯的存储箱(5)进出的入口(2)和出口(16)、通风孔(6),输送带Ⅰ(1)、输送带II(12)分别贯穿于入口(2)和出口(16),入口(2)和出口(16)分别设闸门Ⅰ(17)、闸门II(18),箱体外侧固定设棒形的把手(10),密闭的存储空间(7)内设机械手II(11)和机械手I(4),及位于其上可与棒形的把手(10)相配合的勾(19)。有益效果:操作便捷、省时省力、采用自动化控制,并具有良好的封闭空间,避免了硅芯的多环节污染。
搜索关键词: 输送带 硅芯 自动存取装置 机械手 存储空间 存储箱 密闭式 密闭 棒形 闸门 把手 出口 自动化控制 封闭空间 通风孔 省时 省力 贯穿 污染 环节 配合
【主权项】:
1.一种密闭式硅芯自动存取装置,包括:密闭的用于存储硅芯的存储空间(7),可分别将硅芯从存储空间(7)取出或送入的输送带Ⅱ(12)和输送带Ⅰ(1),用于存放硅芯的存储箱(5)、可使存放硅芯的存储箱(5)进入和送出密闭的存储空间(7)的入口(2)和出口(16),其特征在于:输送带Ⅰ(1)、输送带Ⅱ(12)分别贯穿于入口(2)和出口(16),且入口(2)和出口(16)分别呈隧道形,且在隧道形的入口(2)和出口(16)处分别设置有供硅芯的存储箱(5)进入或送出存储空间(7)的闸门Ⅰ(17)和闸门Ⅱ(18),存放硅芯的存储箱(5)为一矩形的箱体,两相对的箱体壁外侧分别固定设置有棒形的把手(10),在存储箱(5)的底部设置有凸台(13),在存储空间(7)内分别设置有相互垂直运动的机械手Ⅱ(11)和机械手Ⅰ(4),机械手Ⅱ(11)和机械手Ⅰ(4)上分别设置有可与棒形的把手(10)相配合的勾(19),所述的存储空间(7)的地面以下设置有凹槽(9),在凹槽(9)的底面(8)设置有可沿竖直方向运动的液压式升降盘(14),液压式升降盘(14)的上表面设置有与存储箱(5)底部表面设有凸台相配合的凹陷。
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