[发明专利]一种新型热驱在线测试微结构冲击强度试验机及检测方法有效
| 申请号： | 201510427254.6 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106370375B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 张立;张大成;何军;李睿;关淘淘;付锋善;杨芳 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01M7/08 | 分类号： | G01M7/08 |
| 代理公司： | 11200 北京君尚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邱晓锋<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型热驱在线测试微结构冲击强度试验机及检测方法。该新型热驱片上试验机实现了即时的微结构冲击强度测试，利用热驱执行器实现自加载和卸载，排除人为偶然因素，极大地提高了测试准确度，同时利用热驱执行器和V型放大杠杆可以获得传统方法难以获得的大冲击和大冲击脉宽。同时基于该新型试验机提出的测试方法通过同次光刻同次刻蚀释放保证片上试验机的被测样品和实际工作的功能器件具有一致的冲击强度，排除了工艺误差带来的干扰。该方法针对不同尺寸的测试样品，通过调整试验机中冲击质量块以及柔性长梁尺寸保证试验机能够产生高强度的冲击载荷。该方法在获取冲击断裂加速度时，通过记录实际断裂加载挠度，利用商业ansys软件建立力学模型，随后将容易记录的加载位移代入力学模型来获取难以测量的冲击加速度和产生的应力峰值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 在线 测试 微结构 冲击 强度 试验 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热驱在线测试微结构冲击强度的装置，包括：/n柔性储能长梁，所述柔性储能长梁的两端固定，中间一侧由连接梁和v型放大杠杆相连；/n设置在所述柔性储能长梁的中间另一侧的冲击质量块，用于向微结构施加冲击；/n热驱执行器和v型放大杠杆，分为加载/卸载v型热驱执行器和v型放大杠杆，其中加载v型放大杠杆两端和加载v型热驱执行器相连，加载v型放大杠杆输出端和柔性储能梁相连，而卸载v型放大杠杆两端和卸载v型热驱执行器相连，卸载v型放大杠杆输出端和卸载刚性梁锤相连；/n和锁定件，所述锁定件包括固定锁和可动扣；可动扣排布在与加载v型放大杠杆输出梁两侧，按要求间隔分布，通过加载热驱执行器与固定锁锁合；固定锁内侧内置卸载扣，卸载扣与卸载v型放大杠杆末端卸载锤相对，利用卸载热驱执行器打开锁扣。/n
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