[发明专利]一种利用热驱提取微锚腿扭转键合强度的方法在审
| 申请号： | 201510427296.X | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106370520A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 何军;张大成;张立;杨芳;刘鹏;王玮;李婷;罗葵;田大宇 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提取微锚腿扭转键合强度的方法，通过新设计的片上检测结构中的热驱结构对微锚腿产生扭转作用的力偶矩使锚腿断裂，记录断裂时的驱动位移并计算扭转键合强度值。此方法可用来进行键合工艺的监测和评价，也可用来预测器件的机械可靠性。具备自定位、自测力能力；方法简单，不需要大型高精密仪器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 提取 微锚腿 扭转 强度 方法 | ||
【主权项】：
一种提取微锚腿扭转键合强度的方法，其特征在于利用片上检测结构中的V形热驱对微锚腿施加负载力使其断裂，并计算出扭转键合强度值。
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