[发明专利]一种基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值方法有效
| 申请号： | 201510427298.9 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106370330B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 张立;张大成;何军;李睿;关淘淘;付锋善;杨芳 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 11200 北京君尚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邱晓锋<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值方法。该方法包括：1)选择标准SOG体硅工艺和标准压阻工艺流程制作片上冲击强度检测试验机、测试样品、测试样品压阻区域和功能器件；2)将电源和电流测试仪器与片上冲击强度检测试验机的可动部件和被测试样品串联形成测试电路；3)利用片上冲击强度检测试验机进行冲击试验，记录每次冲击试验中产生的电流脉冲图形；4)测量测试样品冲击破坏前一加载情况下电流脉冲图形的峰值和脉冲宽度，其脉冲宽度则为应力波作用脉宽，同时利用压阻公式，通过电流脉冲峰值计算应力波峰值大小。本发明能够方便、准确地计算出应力波脉宽和峰值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 冲击 强度 检测 试验 利用 电流 变化 微结构 碰撞 应力 宽和 峰值 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于片上冲击强度检测试验机利用电流变化检测微结构冲击碰撞应力波脉宽和峰值的方法，包括下述步骤：/n1)选择标准SOG体硅工艺和标准压阻工艺流程制作片上冲击强度检测试验机、测试样品、测试样品压阻区域和功能器件，所述片上冲击强度检测试验机、测试样品应和功能器件在同一微单元内；/n2)将电源和电流测试仪器与片上冲击强度检测试验机的可动部件和被测试样品串联形成测试电路，此时测试电路处于开路状态，电流大小为零；/n3)利用片上冲击强度检测试验机进行冲击试验，加载强度从小到大，直至测试样品被冲击破坏，记录每次冲击试验中产生的电流脉冲图形；/n4)测量测试样品冲击破坏前一加载情况下电流脉冲图形的峰值和脉冲宽度，其脉冲宽度则为应力波作用脉宽，同时利用压阻公式，通过电流脉冲峰值计算应力波峰值大小。/n
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