[发明专利]二维共焦显微非线性强度扫描系统和测量方法

摘要

本发明是将非线性强度扫描和共焦显微成像集成在一起的，用于测量样品的非线性光学性质，并能测绘样品微区非线性光学系数的二维空间分布的光学测量系统。本发明可以用于样品的二维微区的非线性光学性质的测绘，尤其适用于不均匀样品微区或者微观样品的非线性性质的测量。本系统可以同时测量样品的非线性吸收和非线性折射性质，采用自动化测量，具有快速、高效和灵敏的特点。

主权项

一种二维共焦显微非线性强度扫描系统，其特征在于系统结构包含作为激发光源的脉冲激光器(1)，沿该脉冲激光器(1)的输出光束方向依次为第一镀膜全反镜(2)、第一小孔光阑(3)、第二小孔光阑(4)、第二镀膜全反镜(5)、电控旋转台(6)、偏振片(8)、第一分光平片(9)、聚焦物镜(11)、待测样品(12)、收集物镜(13)、第二分光平片(14)、第三小孔光阑(15)、第三分光平片(16)和成像相机(17)；所述的脉冲激光器(1)与激光器控制器(31)连接；沿所述的第一分光平片(9)的反射光方向依次为第一中性密度滤光片(18)、第一透镜(19)和第一探测器(20)；所述的第一分光平片(9)的反射光方向的另一侧为照明光源氙灯(10)；沿所述的第二分光平片(14)的反射方向依次为第二中性密度滤光片(21)、第二透镜(22)和第二探测器(23)；沿所述的第三分光平片(16)反射光方向依次为第三中性密度滤光片(24)、第三透镜(25)和第三探测器(26)；所述的第一探测器(20)、第二探测器(23)和第三探测器(26)的输出端经由数据采集卡(28)连接到计算机(29)的输入端；所述的电控旋转台(6)的旋转轴与光轴重合，并且中心为通孔，通孔中安装有格兰泰勒棱镜(7)；所述的电控旋转台(6)连接在控制器(30)的控制端，该控制器(30)与计算机(29)相连接；所述的成像相机(17)的输出端与所述的计算机(29)的输入端连接；所述的待测样品(12)安置在二维精密平移台(27)上；该二维精密平移台(27)通过控制器(30)与所述的计算机(29)相连；能量计(32)的输出端与所述的计算机(29)的输入端相连；所述的第一镀膜全反镜(2)、第二镀膜全反镜(5)、第一分光平片(9)、第二分光平片(14)、第三分光平片(16)与光路的夹角为45°。