[发明专利]一种高纯化学品连续稳定输送系统及方法

摘要

本发明公开了一种高纯化学品连续稳定输送系统，包括贮存罐、缓冲罐和推送系统，所述推送系统包括第一推送系统和第二推送系统，所述第一推送系统和第二推送系统均与输送总管连通，所述第一推送系统用于将贮存罐内的高纯化学品推送至缓冲罐内，此为填充过程；所述第二推送系统用于将缓冲罐内的高纯化学品推送至使用机台，第一推送系统和第二推送系统上分别独立设置有第一调压阀和第二调压阀，所述第二推送系统上还设有压力传感器和压力监测计。本发明高纯化学品连续稳定输送系统结构布置合理，成本低，且有效实现了缓冲罐内的填充压力与供应压力的独立稳定可调，有效保证了高纯化学品的连续稳定供应。

主权项

一种高纯化学品连续稳定输送系统，包括贮存罐（5）、缓冲罐（6）、推送系统、排气管道（4）、机台（325）和控制模块，所述推送系统上的电动或气动部件与控制模块连接，所述推送系统通过惰性气体推送高纯化学品，其特征在于：所述推送系统包括第一推送系统（2）和第二推送系统（3），所述第一推送系统（2）和第二推送系统（3）均与输送总管（1）连通，所述第一推送系统（2）用于将贮存罐（5）内的高纯化学品推送至缓冲罐（6）内，第一推送系统（2）包括第一贮存推送管道（21）和第二贮存推送管道（22），所述第一贮存推送管道（21）的一端与输送总管（1）连通，另一端伸入贮存罐（5）内上部，第一贮存推送管道（21）上从与输送总管（1）连通的一端起依次设有第一调压阀（211）和第一气动阀（212），所述第二贮存推送管道（22）的一端伸入贮存罐（5）内下部，另一端伸入缓冲罐（6）内下部，第二贮存推送管道（22）上设有从与贮存罐（5）连接的一端起依次设有过滤器（222）和第二气动阀（223）；所述第二推送系统（3）用于将缓冲罐（6）内的高纯化学品推送至机台（325），第二推送系统（3）包括第一缓冲推送管道（31）和第二缓冲推送管道（32），所述第一缓冲推送管道（31）的一端与输送总管（1）连通，另一端伸入缓冲罐（6）内上部，所述第一缓冲推送管道（31）上从与输送总管（1）连通的一端起依次设有第二调压阀（311）和第三气动阀（313），所述第二缓冲推送管道（32）的一端伸入缓冲罐（6）内下部，另一端与机台（325）连通，所述第二缓冲推送管道（32）上从与缓冲罐（6）连通的一端起依次设有第四气动阀（322）、压力传感器（323）和压力监测计（324）；所述排气管道（4）设于缓冲罐（6）顶部，所述排气管道（4）的外端部与真空泵（43）连接，排气管道（4）上设有第五气动阀（42）。