[发明专利]一种电阻式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电阻式压力传感器，由敏感层和两片包含电极的衬底组成，所述敏感层位于两层电极之间，其特征在于，所述敏感层为导电性多孔弹性薄膜。本发明所述电阻式压力传感器的敏感层采用导电性多孔弹性薄膜，薄膜在受压力作用时，薄膜形变量增加，减小了薄膜中导电材料之间的接触电阻，增强了压力传感器对压力的敏感性，增加了压力传感器高敏感性的压力范围；薄膜所采用的材料价格低，加工工艺简单，降低了压力传感器的成本。

主权项

一种电阻式压力传感器的制备方法，该电阻式压力传感器由敏感层和两片包含电极的衬底组成，所述敏感层为导电性多孔弹性薄膜，位于两层电极之间，该导电性多孔弹性薄膜由热固化弹性材料、发泡材料和导电材料混合后经加热固化后形成；其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水对衬底进行超声清洗，清洗后干燥，采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底表面；2)采用真空蒸镀、磁控溅射、旋涂、喷涂、刮涂或凹版印刷的方式在衬底上制备电极；3)分别称取热固化弹性材料、发泡材料和导电材料，将三者混合并搅拌均匀；4)将PET薄膜放置于平整的底板上，PET薄膜两侧设置高度一致的垫片，将均匀混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料倒于PET薄膜上；5)将另一张PET薄膜覆盖到混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料上，用玻璃棒或金属棒在PET薄膜表面滚动或推动，使材料均匀分布于两层PET薄膜中；6)用表面平整的盖板覆盖在顶上的PET薄膜之上，固定底板和盖板之间的相对位置和高度，然后将其整体转移至加热台上加热，加热过程中发泡材料产生气体同时伴随热固化弹性材料固化，形成内部的多孔结构；7)去除底板、盖板及PET薄膜，得到所需的导电性多孔弹性薄膜；8)将两片包含电极的衬底贴合到作为敏感层的导电性多孔弹性薄膜的上下两侧，得到所需的电阻式压力传感器，其中，电极与导电性多孔弹性薄膜接触，衬底在最外侧。