[发明专利]一种电容式压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510434068.5 | 申请日： | 2015-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105067159B | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 郭小军;陈苏杰;卓本刚;于鹏飞 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 祖志翔 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式压力传感器及其制备方法，所述电容式压力传感器由绝缘层和两片包含电极的衬底组成，所述绝缘层位于两层电极之间，该绝缘层为多孔性弹性薄膜。本发明的绝缘层采用多孔性弹性薄膜，使所述电容式压力传感器对压力的敏感性增加，同时增加了该电容式压力传感器高敏感性的压力范围；多孔性弹性薄膜所采用的材料价格低，加工工艺简单，降低了电容式压力传感器的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电容式压力传感器，由绝缘层和两片包含电极的衬底组成，所述绝缘层位于两层电极之间，其特征在于，所述绝缘层为多孔性弹性薄膜，该多孔性弹性薄膜为聚二甲基硅氧烷、聚氨酯或铂催化硅胶和发泡材料混合后经加热固化后形成。
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