[发明专利]图案缺陷检查方法有效
| 申请号： | 201510435019.3 | 申请日： | 2015-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN105301015B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 黃映珉;金相润;裵贞奉;朴喜载 | 申请（专利权）人： | 株式会社SNU精密 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种图案缺陷检查方法，该图案缺陷检查方法利用对主板通过光学系统多次拍摄后进行结合而成的主图像，能够容易地检查基板上形成的缺陷，其中包括：准备步骤，准备不存在缺陷的主板；登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，登记为主图像；拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷的检查区域，通过所述光学系统，以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 图案缺陷 主图像 主板 拍摄 检查区域 检查图像 检查对象 检查基板 匹配步骤 检查 基板 匹配 检索 图像 | ||
【主权项】：
1.一种图案缺陷检查方法，其特征在于，包括：准备步骤，准备不存在缺陷的主板；登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，将所述主板之结合的整体图像登记为主图像；拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷的检查区域，通过所述光学系统以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷，且所述匹配步骤通过将所登记的所述主图像上与所述检查图像对应的区域取代为所述检查图像，并使所取代的图像与所述主图像匹配从而检索所述缺陷。
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