[发明专利]显微取像设备有效
| 申请号： | 201510436039.2 | 申请日： | 2015-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN106371231B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 李长浩 | 申请（专利权）人： | 旭东机械工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02B21/24 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李景辉<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本发明是关于一种显微取像设备，用于对一目标物的取像区进行取像。该显微取像设备包括一激光追焦模组及一显微取像镜组。该激光追焦模组具有一激光位移检测模组，正对该目标物的该取像区；而该显微取像镜组具有一镜头，正对该目标物的该取像区。该激光追焦模组能沿x轴移动，并在移动的同时检测该目标物的该取像区与该镜头之间的垂直距离变化；而该显微取像镜组能跟该激光位移检测模组一起沿x轴移动，并能单独沿y轴移动，及能根据该激光位移检测模组的检测结果，与该激光位移检测模组一起沿z轴微调高度位置。 | ||
| 搜索关键词： | 显微 设备 | ||
【主权项】：
1.一种显微取像设备，其特征在于，所述显微取像设备用于对一目标物的取像区进行取像，且该显微取像设备包括一x轴移载装置、由该x轴移载装置带动而能沿x轴移动的一z轴移载装置、设于该z轴移载装置的一z轴载板上的一激光追焦模组、及设于该z轴载板上的一显微取像镜组；该激光追焦模组具有正对该目标物的该取像区的一激光位移检测模组，该显微取像镜组具有正对该目标物的该取像区的一镜头；该激光追焦模组通过该x轴移载装置而能沿x轴移动，并在移动的同时通过该激光位移检测模组检测该目标物的取像区与该镜头之间的垂直距离变化；该z轴载板通过该x轴移载装置而能沿x轴移动，该z轴移载装置并能根据该激光位移检测模组的检测结果，微调该z轴载板的高度位置，其中：/n该激光追焦模组还包括设于该z轴载板的一第一z轴调整机构、及设于该第一z轴调整机构上且承载该激光位移检测模组的一x轴调整机构，该第一z轴调整机构用以调整该激光位移检测模组在z轴上的位置，该x轴调整机构用以调整该激光位移检测模组在x轴上的位置；及/n该显微取像镜组还包括一显微图像撷取模组、设于该z轴载板的一第二z轴调整机构、及设于该第二z轴调整机构上且承载该显微图像撷取模组的一水平角度调整机构，该第二z轴调整机构用以调整该显微图像撷取模组在z轴上的位置，该水平角度调整机构用以调整该显微图像撷取模组的角度位置，以使该镜头的焦平面与该目标物的取像区平行。/n
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