[发明专利]可提高硒化质量的硒化反应装置及进行硒化反应的方法

摘要

本申请公开了一种可提高硒化质量的硒化反应装置及进行硒化反应的方法，所述可提高硒化质量的硒化反应装置包括一个硒源蒸发室、硒蒸汽流通通道、载气流通通道、混合气体流通通道、反应室；所述利用可提高硒化质量的硒化反应装置进行硒化反应的方法，包括步骤：抽真空；加热棒进行加热；打开微波发生装置，同时加热可加热式匀流板开始反应；反应结束后，腔室一保持继续加热，CIGS基片待温度降至200℃以下，关闭微波发生装置关闭进气阀，同时关闭抽气口；所述可提高硒化质量的硒化反应装置，利用微波发生装置离化硒原子，分散硒的大分子团，提高硒原子能量；该方法不仅可以提高硒的能量，而且可以提高硒蒸汽压及硒蒸汽分布的均匀性，最终提升CIGS电池整体的效率。

主权项

一种可提高硒化质量的硒化反应装置，其特征在于：包括一个硒源蒸发室、硒蒸汽流通通道、载气流通通道（105）、混合气体流通通道（106）、反应室，其中，硒源蒸发室内设有一个用于盛放硒源的腔室一（101），该腔室一（101）外壁上设置有多组加热棒一（102）；腔室一（101）上连通硒蒸汽流通通道，硒蒸汽流通通道的出口（104）处为喇叭口，硒蒸汽流通通道的出口（104）与载气流通通道（105）的出气口相互平行，硒蒸汽与载气平行流入混合气体流通通道（106），混合气体流通通道（106）的外壁上设置有多组加热棒二（109），混合气体流通通道（106）中设置有微波发生装置（108）；混合气体流通通道（106）的出口处设置反应室，反应室内混合气体流通通道（106）的出口处连接一个喇叭罩（110），喇叭罩（110）罩口处设置有可加热式匀流板（111），可加热式匀流板（111）下方设置有加热板（113），加热板（113）上放置CIGS基片（112）；反应室底部开设有抽气口（115）。