[发明专利]一种离子导引装置有效
申请号: | 201510437333.5 | 申请日: | 2015-07-23 |
公开(公告)号: | CN106373854B | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 程玉鹏;张小强;孙文剑 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04;H01J49/02;H01J49/26 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 高园园 |
地址: | 日本国京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种离子导引装置,包括沿某一空间轴延伸放置的两组电极、第一电源装置和第二电源装置;所述两组电极沿与所述空间轴垂直的方向扩展排布,并且每组电极内的每个电极至少有一个表面基本处于同一空间面上,且所述两组电极所处空间面不是同一空间面且不平行,从而形成与所述空间轴垂直的方向上的截面积逐渐减小的离子传输通道;所述第一电源装置用于在所述两组电极的至少一部分电极上施加射频电压;所述第二电源装置用于在所述两组电极的至少一部分电极上施加电压信号。本发明的离子导引装置的结构简单,便于加工装配和功能拓展,同时能够实现离子的高效传输和有效压缩。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子 导引 装置 | ||
【主权项】:
1.一种离子导引装置,其特征在于:包括沿某一空间轴延伸放置的两组电极、第一电源装置和第二电源装置;所述两组电极沿与所述空间轴垂直的方向扩展排布,并且每组电极内的每个电极至少有一个表面基本处于同一空间面上,且所述两组电极所处空间面不是同一空间面且不平行,从而形成与所述空间轴垂直的方向上的截面积逐渐减小的离子传输通道;所述离子传输通道的离子入口开口较大,离子出口开口较小;所述第一电源装置用于在所述两组电极的至少一部分电极上施加射频电压,以在垂直于所述空间轴的至少一个方向上束缚所述离子传输通道内的离子;所述第二电源装置用于在所述两组电极的至少一部分电极上施加电压信号,以在垂直于所述空间轴的至少一个方向上形成电压分布来控制离子运动,并在所述空间轴方向上形成电压分布来沿所述空间轴驱动离子传输;以及在所有电极上都叠加一个独立控制的直流电压,从而在横向上形成独立控制的直流电势分布来限制离子对传输通道的选择。
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