[发明专利]电加热反应源储存及供应设备在审
| 申请号： | 201510437734.0 | 申请日： | 2015-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN106702349A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王燚;刘亿军 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229 | 代理人： | 李绪岩 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 电加热反应源储存及供应设备，包括外壳，加热管，反应源存储器，高温阀和接口。加热管处于外壳的内壁上。反应源存储器放入到外壳内。高温阀设置在反应源存储器的上端。接口设置在高温阀上并与反应腔室连接。通过采用此电加热反应源储存及供应装置，在整个沉积应用过程中，可以很好的实现反应源的储存及供应。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 反应 储存 供应 设备 | ||
【主权项】：
电加热反应源储存及供应设备，其特征在于：包括外壳，加热管，反应源存储器，高温阀和接口；加热管处于外壳的内壁上，反应源存储器放入到外壳内，高温阀设置在反应源存储器的上端，接口设置在高温阀上并与反应腔室连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
