[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201510438233.4 | 申请日： | 2015-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN105154820B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 丁立薇;党鹏乐;朱晖;张小宝 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L21/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法，用于蒸镀AMOLED基板，蒸镀设备包括基板载物台，用于承载AMOLED基板；蒸镀掩膜板，开设有作为蒸镀图案的空槽，蒸镀掩膜板压设于AMOLED基板；蒸发源装置，与基板载物台相邻，用于提供蒸镀材料；蒸镀阻挡装置，罩设于蒸镀掩膜板及蒸发源装置，并与蒸镀掩膜板及蒸发源装置形成蒸镀腔。上述蒸镀设备，蒸镀掩模板通过自身重量贴合于AMOLED基板，蒸发源装置提供的蒸镀材料在蒸发后由于蒸镀阻挡装置的反射而附着在AMOLED基板上。如此，在蒸镀过程中，蒸镀掩膜板其形状在蒸镀过程中不发生变化，从而避免因蒸镀掩模板及AMOLED基板倒置而蒸镀位置的偏差或混色。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，用于蒸镀AMOLED基板，其特征在于，所述蒸镀设备包括：基板载物台，用于承载所述AMOLED基板；蒸镀掩膜板，开设有作为蒸镀图案的空槽，所述蒸镀掩膜板利用其自身重量压设于所述AMOLED基板；蒸发源装置，与所述基板载物台相邻，用于提供蒸镀材料；蒸镀阻挡装置，罩设于所述蒸镀掩膜板及所述蒸发源装置，并与所述蒸镀掩膜板及所述蒸发源装置形成蒸镀腔，被蒸发的所述蒸镀材料在所述蒸镀腔内向所述蒸镀阻挡装置方向运动。
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