[发明专利]数据修正装置及方法、描画装置及方法、检查装置及方法和存储有程序的记录介质

摘要

本发明提供数据修正装置及方法、描画装置及方法、检查装置及方法和存储有程序的记录介质。数据修正部(21)具有：设计数据存储部(211)，存储通过在基板上蚀刻形成的图案的设计数据；蚀刻特性存储部(212)，存储与基板的多个基准位置分别对应的多个蚀刻特性；区域蚀刻特性获取部(213)，基于基板上的各分割区域与多个基准位置的分别的位置关系求出各分割区域的区域蚀刻特性；以及分割数据修正部(214)，将设计数据分割成与多个分割区域对应的多个分割数据，基于各分割区域的区域蚀刻特性来修正各分割数据。由此，能够考虑由于各分割区域在基板上的位置的区别导致的蚀刻特性的差异，以良好的精度对各分割数据进行蚀刻修正。

主权项

1.一种数据修正装置，用于修正通过蚀刻而形成在对象物上的图案的设计数据，其特征在于，具有：设计数据存储部，存储通过蚀刻而形成在对象物上的图案的设计数据；蚀刻特性存储部，存储与所述对象物上的多个基准位置分别对应的多个蚀刻特性，其中，所述图案中包括的图形构件之间的间隙宽度和所述对象物上的所述图形构件被过剩地蚀刻的蚀刻量之间的关系作为所述蚀刻特性；区域蚀刻特性获取部，针对在所述对象物上设定的多个分割区域中的每一个，在基于各分割区域与所述多个基准位置的分别的位置关系对所述多个蚀刻特性进行加权处理后，基于进行了加权处理的所述多个蚀刻特性，求出所述各分割区域的蚀刻特性即区域蚀刻特性；以及分割数据修正部，将所述设计数据分割成与所述多个分割区域对应的多个分割数据，基于与各分割数据对应的所述各分割区域的所述区域蚀刻特性来修正所述各分割数据。