[发明专利]物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种具有优异的检测灵敏度的物理量传感器，并且提供具有该物理量传感器的压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具有：基板(2)，其在所述基板的一面开口的凹部(24)；隔膜部(20)，其包括凹部(24)的底部，并因受压而发生挠曲变形；压敏电阻元件(5)，其被配置于隔膜部(20)上；台阶部(30)，其在基板(2)的另一面侧沿隔膜部(20)的外周而配置，并相对于隔膜部(20)向隔膜部(20)的厚度方向以小于凹部(24)的深度(d)的高度(h)而突出。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板，其具有在所述基板的一面侧开口的凹部；隔膜部，其包括所述凹部的底部，并通过受压而发生挠曲变形；传感器元件，其被配置于所述隔膜部上；台阶部，其在所述基板的另一面侧沿所述隔膜部的外周而被配置，并相对于所述隔膜部而向所述隔膜部的厚度方向突出，而且突出量小于所述凹部的深度。