[发明专利]一种硅芯的生产方法在审
申请号: | 201510441226.X | 申请日: | 2015-07-24 |
公开(公告)号: | CN106367808A | 公开(公告)日: | 2017-02-01 |
发明(设计)人: | 郭大伟;陈辉;刘和松;郁叙法;张礼铭;冷先锋;李少捧;伍月爽;陈辉;周冰;孟杰 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司;江阴东升新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种硅芯的生产方法,该方法包括以下步骤将硅料装入条形坩埚中;将盛放硅料的条形坩埚放入到炉体内进行加热,待硅料熔化后,按设定的工艺要求,在竖直方向形成温度梯度,使熔化的硅料沿竖直方向,在条形坩埚内长晶形成条形硅锭;将行成的条形硅锭沿其长度方向根据需要的尺寸切割成硅芯。在整个硅芯的制备过程中,硅锭水平方向的电阻率均一性能够得到保证。从而保证了硅锭首尾电阻率相近似,有效的改善了所形成硅芯的电阻率,此外,使用本方法制作硅芯时,所需的能耗小,长晶效率高,方棒利用率高,从而提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 方法 | ||
【主权项】:
一种硅芯的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:将硅料装入条形坩埚中;将盛放硅料的条形坩埚放入到炉体内进行加热,待硅料熔化后,按设定的工艺要求,在竖直方向形成温度梯度,使熔化的硅料沿竖直方向,在条形坩埚内长晶形成条形硅锭;将行成的条形硅锭沿其长度方向根据需要的尺寸切割成硅芯。
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