[发明专利]二维磁场探针台测量系统

摘要

本发明属于物理及半导体测量技术领域，具体为二维磁场探针台测量系统。测量系统包括基座、二维磁场电磁铁、置于电磁铁磁极中央并固定于基座上的载物台卡盘、探针平台和显微测量装置，探针平台中间开口，沿开口环绕放置有若干直流、高频探针座和探针，探针通过开口接触载物台卡盘上的样品；多种直流及高频仪器，连接探针测量磁场环境下的样品；本发明为集成化智能化的二维磁场探针台测量系统，可实现二维磁场探针测量功能；可放置更多的探针座和探针，从而实现磁场环境下更为复杂的测量；本发明机械振动小、灵活性好、性价比高，应用场景广泛。

主权项

二维磁场探针台测量系统，其特征在于包括：一个基座（1），用于承载和固定其它部件；一个二维磁场电磁铁（2），用于产生二维磁场，固定于基座（1）上；一个载物台卡盘（3），用于放置待测的样品，位于二维磁场电磁铁（2）磁极中央并固定于基座（1）上；一个中间开口（6）的探针平台（5），用于承载和固定探针座（7），位于二维磁场电磁铁（2）的上方，中间开口（6）正对于载物台卡盘（3）的上方；多个匹配安装的探针座（7）和探针（8），用于接触载物台卡盘（3）上的样品；探针座（7）和探针（8）沿探针平台（5）的中间开口（6）环绕分布；所述探针座（7）和探针（8）为直流、高频型,所述高频包含射频、微波、毫米波、太赫兹波频段；多个直流及高频仪器（10），通过线缆（9）连接探针（8）测量磁场环境下的样品；一套显微测量装置（11），用于观测探针（8）针尖和样品并进行操作。