[发明专利]具有可移动屏蔽件的涂布室有效
| 申请号： | 201510442799.4 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN104947061B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·沃尔夫;拉尔夫·林德伯格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C23C16/458;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有可移动屏蔽件的涂布室。本发明涉及操作涂布室的方法以及一种涂布室，该涂布室包括涂布源；传输装置，其用于将适合于承载要被涂布的衬底的衬底支架相对于涂布源移动到至少一个涂布位置中，使得衬底可以被涂布；以及至少一个第一屏蔽件，其设置在衬底的涂布位置与涂布源之间的区域中，以防止除了要被涂布的衬底的表面之外的区域受到涂布，其中，第一屏蔽件包括移动设备和用于将第一屏蔽件与衬底支架相连接的连接设备，使得第一屏蔽件和衬底支架可以一同移动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 屏蔽 涂布室 | ||
【主权项】：
一种涂布室，包括涂布源，传输装置，其用于将适合于能够承载要被涂布的衬底的衬底支架相对于所述涂布源移动到至少一个涂布位置中，使得所述衬底可被涂布，以及至少一个第一屏蔽件，其设置在所述衬底的涂布位置与所述涂布源之间的区域中，以防止除了要被涂布的所述衬底的表面之外的区域受到涂布，其中所述至少一个第一屏蔽件包含移动设备以及连接装置，所述移动设备具有支撑辊(17)且所述连接装置用于将所述至少一个第一屏蔽件与所述衬底支架相连接，可旋转轴(14)，所述可旋转轴(14)的纵轴垂直于所述涂布源的长度方向，其中所述传输装置(5)的下支撑辊(15,16)被设置在所述可旋转轴(14)上且通过所述可旋转轴(14)而旋转，从而在垂直于所述长度方向以及所述纵轴两者的方向上移动所述衬底支架，其中所述支撑辊(17)以防扭转的方式被设置在所述可旋转轴(14)上且可沿着所述纵轴滑动，使得所述可旋转轴(14)可沿着所述纵轴移动其中，当所述至少一个第一屏蔽件和所述衬底支架被连接时，所述至少一个第一屏蔽件和所述衬底支架可一同垂直于所述纵轴而移动且当所述至少一个第一屏蔽件和所述衬底支架未被连接时，所述至少一个第一屏蔽件与所述衬底支架可沿着所述纵轴而彼此独立地移动。
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