[发明专利]一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201510443118.6 | 申请日： | 2015-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN105067471B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 于海涛;李昕欣;许鹏程;王家畴;包宇洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N5/00 | 分类号： | G01N5/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，包括如下步骤提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所述保护层，露出其下的亲水层；在去除所述保护层的过程中，所述保护层表面的疏水分子层也被去除，其余部分的疏水分子层不受影响；在所述衬底表面涂覆敏感材料，由于所述疏水分子层的存在，所述敏感材料集中于所述敏感区域。本发明通过疏水或双疏的分子层将器件表面封闭，仅悬臂谐振结构敏感区域露出下方的亲水表面，从而使敏感材料固定在悬臂谐振结构的该区域上，使敏感材料的固定实现批量化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂 谐振 结构 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底中形成有微悬臂结构；所述微悬臂结构包括形成于所述衬底中的空腔及位于所述空腔上方的微悬臂梁；所述微悬臂梁一端固定，另一端自由；所述微悬臂梁表面形成有亲水层；在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层；在所述衬底表面形成疏水分子层；去除所述保护层，露出其下的亲水层；在去除所述保护层的过程中，所述保护层表面的疏水分子层也被去除，其余部分的疏水分子层不受影响；在所述衬底表面涂覆敏感材料，由于所述疏水分子层的存在，所述敏感材料集中于所述敏感区域。
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