[发明专利]一种可控水平方向接触压力的抛光装置

摘要

一种可控水平方向接触压力的抛光装置，它涉及一种抛光装置。本发明解决了现有的可控接触压力抛光工具在加工过程中由于工件表面几何特征变化造成接触压力与接触区范围的变化，存在影响抛光工具的局部修形能力以及面形精度的问题。线性滑台基座和电机磁钢连接件沿抛光装置基座的长度方向依次安装在抛光装置基座的上端面上，线性滑台溜板沿线性滑台基座的长度方向滑动安装在线性滑台基座的上端面上，主轴安装座安装在线性滑台溜板的上端面上，抛光主轴沿线性滑台基座的长度方向安装在主轴安装座上，音圈电机磁钢的一端安装在电机磁钢连接件上，音圈电机线圈连接件安装在线性滑台溜板的上端面上。本发明用于精密光学加工。

主权项

一种可控水平方向接触压力的抛光装置，其特征在于：所述抛光装置包括抛光装置基座(1)、抛光主轴(2)、抛光头(3)、主轴安装座(4)、线性滑台溜板(5)、线性滑台基座(6)、音圈电机线圈连接件(7)、音圈电机线圈(8)、音圈电机磁钢(9)和电机磁钢连接件(10)，所述抛光装置还包括光栅(11)和位置读数显示装置(12)，抛光装置基座(1)水平设置，线性滑台基座(6)和电机磁钢连接件(10)沿抛光装置基座(1)的长度方向依次安装在抛光装置基座(1)的上端面上，线性滑台溜板(5)沿线性滑台基座(6)的长度方向滑动安装在线性滑台基座(6)的上端面上，主轴安装座(4)安装在线性滑台溜板(5)的上端面上，抛光主轴(2)沿线性滑台基座(6)的长度方向安装在主轴安装座(4)上，抛光头(3)安装在抛光主轴(2)远离电机磁钢连接件(10)的一端上，抛光头(3)为半球状抛光头，音圈电机磁钢(9)的一端安装在电机磁钢连接件(10)上，音圈电机线圈(8)音圈电机线圈连接件(7)安装在线性滑台溜板(5)的上端面上，音圈电机线圈(8)同轴设置在音圈电机磁钢(9)内，光栅(11)沿线性滑台溜板(5)的长度方向安装在线性滑台溜板(5)的侧壁上，位置读数显示装置(12)安装在抛光装置基座(1)上且与光栅(11)相邻设置。