[发明专利]用于真空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧方法及系统

摘要

本发明提供一种可以有效降低产品体积和重量、工作稳定可靠且灭弧效果良好的用于真空镀膜电子枪高压电源系统自动灭弧方法及系统，其包括以下步骤：S1、输入的工频交流电压首先整流成直流电压；S2、上述直流电压调制成频率不变和宽度可变的高频电压；S3、上述高频电压再通过升压整流储存成为真空镀膜电子枪所需的直流高压电；本方案中为了使得真空镀膜电子枪自动灭弧高压电源系统的体积和重量减少，本方案使用高频变压器作为电压变换，由于高频变压器工作处于高频状态，功率密度大，效率高，从而能够很好的解决现有的电源体积大、笨重且效率低下的问题。

主权项

1.一种用于真空镀膜电子枪高压电源系统上的自动灭弧系统，其特征在于：包括分别独自与三个输入端电性相连的三组低频整流模块、与每一组该低频整流模块电性相连的高频功率驱动模块、与该高频功率驱动模块电性相连的高频变压器、与该高频变压器电性相连的高频整流和电压叠加及储能模块以及设置于所述高频功率驱动模块和高频变压器之间的灭弧反馈模块和稳压反馈模块，其中所述灭弧反馈模块和稳压反馈模块还通过用于调制高频高压电的脉宽调制器与所述高频功率驱动模块相连，所述高频变压器其上的初级线圈回路中还设置有一个用于检测真空室内是否产生电弧的灭弧器件，其中当所述灭弧器件检测到真空室内产生电弧时，该灭弧器件向所述脉宽调制器发出关闭控制信号并将其关闭。