[发明专利]一种MEMS麦克风及该MEMS麦克风的工作控制方法有效
| 申请号： | 201510446480.9 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN105050013B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 陈虎;王凯;吴志江 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风及该MEMS麦克风的工作控制方法，其包括设有容纳空间的壳体以及置于所述容纳空间中的ASIC芯片和MEMS芯片，所述MEMS芯片用于将接收到的声音信号转化为电信号并输出至ASIC芯片，所述ASIC芯片包括SCL/SDA时钟信号模块以及信号处理模块，所述SCL/SDA时钟信号模块用于接收外部终端的时钟控制信号并且发送控制命令给信号处理模块，所述信号处理模块接收MEMS芯片的电信号并转换为数字信号，所述信号处理模块接收所述控制指令并且判断是否输出数字信号。本发明的MEMS麦克风可以减小失真并且降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 工作 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其包括设有容纳空间的壳体以及置于所述容纳空间中的ASIC芯片和MEMS芯片，所述MEMS芯片用于将接收到的声音信号转化为电信号并输出至ASIC芯片，其特征在于：所述MEMS芯片包括第一背板、振膜和第二背板，所述振膜设置在第一背板和第二背板之间，所述振膜与第一背板形成第一电容结构，所述振膜与第二背板形成第二电容结构，所述第一电容结构和第二电容结构以差分形式与ASIC芯片电性连接，所述ASIC芯片包括SCL/SDA时钟信号模块、信号处理模块以及给MEMS芯片提供驱动电压的电压模块，所述信号处理模块包括放大器以及模数转换器，所述SCL/SDA时钟信号模块用于接收外部终端的时钟控制信号并且发送控制指令给信号处理模块，所述信号处理模块接收MEMS芯片的电信号并转换为数字信号，所述信号处理模块接收所述控制指令并且判断是否输出数字信号。
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