[发明专利]差分式三角测量系统及其方法有效
| 申请号： | 201510446484.7 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN105716522B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 余浚东;王浩伟;张奕威;戴鸿名 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 梁挥,祁建国 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差分式三角测量系统及其方法，该测量系统包括探头单元、感光单元及计算单元。该探头单元用以投射出二狭缝光束至一待测物的同一位置上。该感光单元用以接收该二狭缝光束的反射光，以取得二影像。该计算单元用以转换该二影像为二光强信号，并对该二光强信号进行差分运算，以取得一差分光强信号，其中，该差分光强信号的全半高宽值(FWHM)小于该二光强信号的全半高宽值。通过本发明所得的差分光强信号，可得到更细微的测量线宽，以抑制噪声的影响，同时提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分式 三角测量 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种差分式三角测量系统，其特征为，该系统包括：一探头单元，包括：一第一光源及一第二光源，其用以分别射出一第一光束及一第二光束，其中，该第一光束与该第二光束具有不同波长；一第一狭缝，用以使该第一光束通过后形成一第一狭缝光束；一第二狭缝，用以使该第二光束通过后形成一第二狭缝光束；及一第一分光镜，用以接收该第一狭缝光束及该第二狭缝光束，以将该第一狭缝光束及该第二狭缝光束投射至一待测物的同一位置上；一感光单元，用以接收该第一狭缝光束及该第二狭缝光束投射至该待测物的同一位置上后的一反射光，以取得对应该第一狭缝光束的一第一狭缝图样以及对应该第二狭缝光束的一第二狭缝图样；以及一计算单元，其与该感光单元相连接，以取得该第一狭缝图样及该第二狭缝图样，该计算单元包含：一转换模块，用以转换该第一狭缝图样为一第一光强信号，以及转换该第二狭缝图样为一第二光强信号；及一差分运算模块，用以对该第一光强信号及该第二光强信号进行差分运算，以取得一差分光强信号。
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