[发明专利]测量图案化蓝宝石基板的方法在审
| 申请号： | 201510446515.9 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN105372264A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 蔡政道 | 申请（专利权）人： | 政美应用股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 须一平 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明关于一种光学测量方法，用以测量一图案化蓝宝石基板的一表面状态，包含下列步骤：利用一自动光学检查程序检查图案化蓝宝石基板的表面，以定义一良品区域与一缺陷区域；提供一光源以发射一第一光束；使第一光束依序通过一光纤连接器及一光学探针，而聚焦于图案化蓝宝石基板的表面上所定义的一测量焦点；其中，测量焦点位于良品区域内，光学探针在相对测量焦点处具有一针孔以供第一光束入射，且针孔与测量焦点为共轭。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 图案 蓝宝石 方法 | ||
【主权项】：
一种光学测量方法，用以测量一图案化蓝宝石基板的一表面状态，包含下列步骤：利用一自动光学检查程序，检查该图案化蓝宝石基板的该表面，以定义一良品区域与一缺陷区域；提供一光源以发射一第一光束；使该第一光束依序通过一光纤连接器及一光学探针，而聚焦于该图案化蓝宝石基板的该表面上所定义的一测量焦点；其中，该测量焦点位于该良品区域内，该光学探针在相对该测量焦点处具有一针孔以供该第一光束入射，且该针孔与该测量焦点为共轭。
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