[发明专利]一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201510448836.2 申请日: 2015-07-28
公开(公告)号: CN105185675A 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 邓清东;宋田英;贺兆昌;张丽 申请(专利权)人: 安徽华东光电技术研究所
主分类号: H01J9/02 分类号: H01J9/02;H01J23/04
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 241002 安徽省芜*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法,包括以下步骤:制备钨饼;烧结钨饼;阴极盐浸渍;钨饼浸渍后的机械加工;钨饼与阴极筒装配及焊料填充;钎焊;钎焊后的机械加工;刻蚀清洗与覆膜。本方法采用多个钨饼与特制的阴极筒进行一次性钎焊,避免了传统多注阴极因采用压制的方法来制备阴极体,而对压力机的超大压力需求,并避免了大尺寸阴极用直接压制的方法而导致的孔隙结构不均匀的缺陷,该方法能满足超大功率的微波管使用需求,可制备直径达几十毫米甚至更大的阴极,电子注可达几十甚至上百个;可支取数十安培以上的阴极电流。其制备方法重复性、一致性、稳定性和可靠性高,为大功率微波器件的发展提供强有力的保障。
搜索关键词: 一种 用于 超大 功率 微波 阴极 及其 制备 方法
【主权项】:
一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法,其特征在于:包括以下步骤:a) 制备钨饼;b) 烧结钨饼;c) 阴极盐浸渍;d) 钨饼浸渍后的机械加工;e)将步骤d)得到的钨饼与特制的阴极筒装配及焊料填充;f)在氢气气氛中同时将步骤e)得到的钨饼与阴极筒进行钎焊;g)钎焊后的机械加工;h) 刻蚀清洗与覆膜。
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