[发明专利]一种放电弧斑满布靶面的真空阴极电弧源

摘要

本发明提供一种放电弧斑满布靶面的真空阴极电弧源，包括一平板靶材，平板靶材底面设有一对应的靶座组件，平板靶材与靶座组件用紧固件紧密贴合连接；靶座组件由冷却水道构件和磁路构件上下层叠组成；冷却水道构件为包括冷却水道金属上盖薄板及冷却水道金属底板的扁形冷却水道并设有进、出水口；磁路构件由磁极分别为上、下端面的多个小圆柱形磁体同极同向(相同磁极朝向相同)竖直排列在一靶座底板上组成。本发明具有如下优点放电面积大大增加，允许增加若干倍靶电流，有利于大幅度提高沉积速率；分散电弧放电几乎在整个靶面上放电，令靶面烧蚀更均匀，提高靶材利用率；有利于靶面导热和水冷帯走热量，有利于改善膜层质量。

主权项

一种放电弧斑满布靶面的真空阴极电弧源，包括一平板靶材，其特征是：所述平板靶材底面设有一对应的靶座组件，所述的平板靶材与靶座组件用紧固件紧密贴合连接；所述的靶座组件由冷却水道构件和磁路构件上下层叠组成；所述的冷却水道构件为包括冷却水道金属上盖薄板及冷却水道金属底板的扁形冷却水道并设有进、出水口；所述的磁路构件由磁极分别为上、下端面的多个小圆柱形磁体同极同向竖直排列在一靶座底板上组成；所述的靶座底板为导磁衔铁，小圆柱形磁体通过自身磁力与导磁衔铁相吸定位并固定；所述小圆柱形磁体的直径为5—6mm，排列方式为多排排列，同排相邻圆柱形磁体的间距相等且间距为12—18mm，排与排之间的间距为12—18mm，但相邻两排圆柱形磁体的位置相互错开半个间距。