[发明专利]通用金属掩模板及其制造方法在审
申请号: | 201510450310.8 | 申请日: | 2015-07-28 |
公开(公告)号: | CN106381464A | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 范波涛;王水俊;王亚 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 余毅勤 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种通用金属掩模板及其制造方法,其中,所述通用金属掩模板包括蒸镀开口区域和厚度渐变区域;所述蒸镀开口区域与所述厚度渐变区域相接,所述厚度渐变区域的厚度沿靠近所述蒸镀开口区域的方向呈阶梯状减薄。在本发明提供的通用金属掩模板及其制造方法中,通过采用两次以上的刻蚀工艺,形成阶梯状的厚度渐变区域,从而减少残厚和蒸镀阴影,使得所述通用金属掩模板能够满足蒸镀工艺的精度要求。 | ||
搜索关键词: | 通用 金属 模板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种通用金属掩模板,其特征在于,包括:蒸镀开口区域和厚度渐变区域;所述蒸镀开口区域与所述厚度渐变区域相接,所述厚度渐变区域的厚度沿靠近所述蒸镀开口区域的方向呈阶梯状减薄。
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