[发明专利]半导体晶片的自动检测装置

摘要

本发明位一种半导体晶片的自动检测装置，属于自动检测装置技术领域。主要包括机架（1）、检测运动机构（7）、料仓运动机构（5）、光路收集系统（6）、运动控制器（8）、计算机（9）、正片机（3）和整平器（2），检测运动机构(7)固定在机架1上，检测运动机构(7)的安装平面与水平面之间的夹角为α，90°＜α＜180°，料仓运动机构(5)固定在检测运动机构中机械手臂的末端位置，使得方便机械手臂对料盒中的半导体晶片进行搬运。本发明通过对料仓运动机构倾斜放置，可以在Z轴方向运动，使得机械手臂不需在Z轴方向运动，来解决现有技术中半导体晶片自动检测装置在检测时检测步骤复杂，设备成本高等问题。

主权项

一种半导体晶片的自动检测装置，主要包括机架（1）、检测运动机构（7）、料仓运动机构（5）、光路收集系统（6）、运动控制器（8）、计算机（9）、正片机（3）和整平器（2），其中，光路收集系统（6）和运动控制器（8）分别通过数据线与计算机（9）连接，运动控制器（8）通过控制线缆分别与料仓运动机构（5）、运动控制器（8）连接,检测运动机构（7）包括第一水平运动机构（32）、第二水平运动机构(31)和机械手臂(33)，机械手臂(33)固定在第一水平运动机构(32)的可运动部分上，第一水平运动机构(32)布置在第二水平运动机构(31)的可运动部分上，且第一水平运动机构(32)的运动方向与第二水平运动机构(31)的运动方向相垂直，光路收集系统(6)固定在检测运动机构(7)的上方，其特征在于，检测运动机构(7)、料仓运动机构(5)和光路收集系统(6)均放置在暗室(4)内，检测运动机构(7)固定在机架（1）上，检测运动机构(7)的安装平面与水平面之间的夹角为α，90°＜α＜180°，正片机(3)和整平器(2)固定在机架(1)上，安装在暗室(4)外，料仓运动机构(5)固定在检测运动机构中机械手臂的末端位置，使得方便机械手臂对料盒中的半导体晶片进行搬运。