[发明专利]一种压力传感器及其压力检测方法和压力检测装置有效
| 申请号： | 201510452544.6 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN104990648B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 徐晓娜 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器及其压力检测方法和压力检测装置，用以增大该压力传感器的量程范围。该压力传感器包括：硅片、位于硅片上的下电极板、位于所述下电极板上的可振动的上电极膜片、位于所述上电极膜片与所述下电极板之间的绝缘层、以及与所述上电极膜片连接的引出电极；其中，所述上电极膜片与所述绝缘层之间形成一个密封真空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 电极膜片 下电极板 绝缘层 压力检测装置 压力检测 硅片 密封真空腔 引出电极 可振动 量程 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器的压力检测方法，其特征在于，该方法包括：当上电极膜片产生振动时，确定所述上电极膜片振动时所对应的品质因数；根据所述上电极膜片振动时对应的品质因数，确定所述上电极膜片振动所对应的压力值；其中，该方法还包括：当上电极膜片产生形变时，根据所述上电极膜片的形变量，确定所述上电极膜片形变时所对应的压力值。
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