[发明专利]一种透明硬脆材料激光贯穿切割装置以及切割方法有效
| 申请号： | 201510453912.9 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106392334B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 苑学瑞;卢建刚;唐建刚;高昆;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/04;B23K26/0622 |
| 代理公司： | 44385 深圳市世联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 汪琳琳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光切割技术领域，公开了一种透明硬脆材料激光贯穿切割装置，包括激光器、扩束镜、反射镜、延长焦深光学器件和聚焦镜；所述激光器接收外部的脉冲信号形成脉冲包络，扩束镜将所述脉冲包络进行扩束，并被反射镜反射后，依次通过延长焦深光学器件和聚焦镜形成激光光斑，所述聚焦光斑作用在加工材料上形成贯穿其厚度的材料改质通道或材料改质通道集群。本发明保证了加工材料可以沿着预定的路径裂开，实现对加工材料高效的、精密的切割，从而满足高效率、高质量、低损伤阈值的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 加工材料 材料改质 光学器件 脉冲包络 延长焦深 激光器 聚焦镜 扩束镜 激光切割技术 透明硬脆材料 反射镜反射 激光光斑 聚焦光斑 脉冲信号 切割装置 低损伤 反射镜 高效率 贯穿 裂开 集群 扩束 精密 切割 激光 外部 保证 | ||
【主权项】：
1.一种透明硬脆材料激光贯穿切割装置，其特征在于：包括激光器(1)、扩束镜(2)、反射镜(3)、延长焦深光学器件(4)和聚焦镜(5)；/n所述激光器(1)接收外部的脉冲信号形成脉冲包络，扩束镜(2)将所述脉冲包络进行扩束，并被反射镜(3)反射后，依次通过延长焦深光学器件(4)和聚焦镜(5)形成激光光斑，所述激光光斑作用在加工材料(8)上形成贯穿其厚度的材料改质通道或材料改质通道集群；/n所述切割装置还包括运动控制单元(10)和XY运动平台(9)，所述XY运动平台(9)带动加工材料(8)沿X和Y方向运动；所述运动控制单元(10)用于检测XY运动平台(9)的运动信息，根据所述运动信息发送脉冲信号给激光器(1)；所述激光器(1)根据接收到的脉冲信号产生脉冲包络，能够控制加工材料(8)内部产生的材料改质通道之间或材料改质通道集群之间的间距；/n所述加工材料(8)内材料改质通道的间距为0.5μm-6μm。/n
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