[发明专利]传片通道衬套在审
申请号: | 201510455699.5 | 申请日: | 2015-07-29 |
公开(公告)号: | CN106409735A | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 续震;王燚 | 申请(专利权)人: | 沈阳拓荆科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229 | 代理人: | 李绪岩 |
地址: | 110179 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 传片通道衬套,为中空的铲型结构,在空腔内壁上设有螺孔。本发明结构紧凑合理,衬套是铝材料,螺钉选用耐腐蚀的高镍合金。衬套安装反应腔内部,超出传片腔与阀门缝隙7mm。这样可以阻挡颗粒进入缝隙内,以满足使用要求。 | ||
搜索关键词: | 通道 衬套 | ||
【主权项】:
传片通道衬套,其特征在于:为中空的铲型结构,在空腔内壁上设有螺孔。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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