[发明专利]一种用于OLED蒸镀的金属遮罩及其制造方法在审
申请号: | 201510458068.9 | 申请日: | 2015-07-30 |
公开(公告)号: | CN105002464A | 公开(公告)日: | 2015-10-28 |
发明(设计)人: | 赖俊志;江南辉;陈瑞祥;邓博文;林居广;陈信宏 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于OLED蒸镀的金属遮罩及其制造方法。该金属遮罩包括:一金属框;多个遮蔽部,沿水平方向形成于金属框的上方;多个支撑条,沿垂直方向形成于遮蔽部的上方;以及多个金属条,与遮蔽部平行设置且位于支撑条的上方。遮蔽部用以遮蔽相邻的两个金属条之间的间隙,支撑条用以支撑金属条。金属框还包括一横梁,该横梁沿水平方向延伸。相比于现有技术,本发明可藉由沿水平方向延伸的横梁来抵抗金属条对金属框的内拉作用力,增强金属框的强度,减少因金属条的拉力造成的金属框形变量,从而提高蒸镀品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 oled 金属 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种用于OLED蒸镀的金属遮罩,其特征在于,所述金属遮罩包括:一金属框;多个遮蔽部,每个遮蔽部彼此平行且沿水平方向形成于所述金属框的上方;多个支撑条,每个支撑条彼此平行且沿垂直方向形成于所述遮蔽部的上方;以及多个金属条,与所述遮蔽部平行设置,且位于所述支撑条的上方,其中,所述遮蔽部用以遮蔽相邻的两个金属条之间的间隙,所述支撑条用以支撑所述金属条,所述金属框还包括一横梁,所述横梁沿水平方向延伸,藉由所述横梁来抵抗所述金属条对所述金属框的内拉作用力,从而防止所述金属框产生形变。
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