[发明专利]一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法、显示装置

摘要

本发明实施例提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法、显示装置，涉及显示技术领域，能够避免TFT结构受光照而引起的漏电流增大的问题，提高TFT结构的稳定性。该薄膜晶体管阵列基板包括基板，设置于基板上的有源层，有源层包括未掺杂区、轻掺杂区、源极区和漏极区，轻掺杂区设置于未掺杂区的两侧，源极区和漏极区设置于轻掺杂区未与未掺杂区接触的一侧，设置于有源层上的第一绝缘层，设置于第一绝缘层上的第一栅极，设置于第一栅极上的第二绝缘层，设置于源极区上方、且贯穿第一绝缘层和第二绝缘层的源极，设置于漏极区上方、且贯穿第一绝缘层和第二绝缘层的漏极；设置于第二绝缘层上的第一遮光层，第一遮光层覆盖未掺杂区与漏极区之间的轻掺杂区。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板，包括基板，设置于所述基板上的有源层，所述有源层包括未掺杂区、轻掺杂区、源极区和漏极区，所述轻掺杂区设置于所述未掺杂区的两侧，所述源极区和所述漏极区设置于所述轻掺杂区未与所述未掺杂区接触的一侧，设置于所述有源层上的第一绝缘层，设置于所述第一绝缘层上的第一栅极，设置于所述第一栅极上的第二绝缘层，设置于所述源极区上方、且贯穿所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的源极，设置于所述漏极区上方、且贯穿所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的漏极，其中，所述源极与所述源极区相接触，所述漏极与所述漏极区相接触；其特征在于，所述薄膜晶体管阵列基板还包括：设置于所述第二绝缘层上的第一遮光层，其中，所述第一遮光层覆盖所述未掺杂区与所述漏极区之间的轻掺杂区。