[发明专利]一种蒸镀方法有效
| 申请号： | 201510461399.8 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105088142B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 阮士薪;崔富毅;白雪飞;李发顺 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀方法，主要内容包括通过对柔性基板进行拉伸以增大柔性基板的蒸镀尺寸，并为拉伸后的柔性基板匹配相同尺寸的掩膜板进行蒸镀，在柔性基板恢复原始尺寸后，得到较高分辨率的基板，且该柔性基板的分辨率高于该柔性基板的原始尺寸对应的掩膜板的最大掩膜精度得到的分辨率。由于匹配的掩膜板的面积尺寸变大，因此，对应的最大掩膜精度相应变大，蒸镀形成的像素单元的个数增多；同时，由于掩膜板的面积尺寸变大，掩膜缝隙会相应变大，从而，避免了粘条现象；而且，保证了蒸镀精度需求，避免蒸镀均一性较差而导致的混色现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀方法，其特征在于，所述方法包括：提供一柔性基板；在所述柔性基板的边缘区域均匀设置多个夹具，控制每个夹具以相同的拉力拉伸所述柔性基板，以使得拉伸后的蒸镀尺寸大于所述柔性基板的原始尺寸；在所述拉伸后的柔性基板的蒸镀面设置一与蒸镀尺寸匹配的掩膜板，其中，所述掩膜板的掩膜精度不小于所述柔性基板在原始尺寸时对应的掩膜板的最大掩膜精度；利用所述掩膜板，在所述拉伸后的柔性基板上蒸镀形成图案化的膜层。
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